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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利一种供电组件、晶圆搬运装置及电路的走线方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170540B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411201172.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种供电组件、晶圆搬运装置及电路的走线方法是由朱玉东;常志勇;孟君燕;富文涛设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种供电组件、晶圆搬运装置及电路的走线方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种供电组件、晶圆搬运装置及电路的走线方法，涉及半导体技术领域，包括主供应结构和传输组件，所述传输组件包括至少两组供电线路和传输部，所述供电线路一端电连接于所述主供应结构，另一端电连接于所述传输部，所述传输部用于连接末端执行器上的电器元件，所述传输部包括至少两组电路。其中供电组件用于对末端执行器上的电器元件供电，晶圆搬运装置用于使末端执行器可以进行无限回转。至少能解决末端执行器的转动角度会受到限制；供电线路会发生缠绕的技术问题。

本发明授权一种供电组件、晶圆搬运装置及电路的走线方法在权利要求书中公布了：1.一种供电组件，应用于晶圆搬运装置，晶圆搬运装置包括至少两个可发生相对转动的末端执行器，且每个末端执行器可沿顺时针或逆时针方向持续无限回转，其特征在于，供电组件包括： 主供应结构和传输组件，传输组件包括至少两组供电线路和传输部，供电线路一端电连接于主供应结构，另一端电连接于传输部，传输部用于连接末端执行器上的电器元件，传输部包括至少两组电路； 传输部包括： 心轴件，呈中空设置，供电线路穿设于心轴件； 第一驱动件，与心轴件同轴并转动设置于心轴件外壁； 第二驱动件，与第一驱动件同轴并转动设置于第一驱动件外壁； 电滑环结构，包括滑环部和滑环座，滑环部固定设置于第一驱动件，滑环座固定设置于第二驱动件，滑环部和滑环座电连接； 第一驱动件与第二驱动件上均连接末端执行器，其中一组供电线路穿过心轴件，电连接于与第一驱动件固定的末端执行器；另一组供电线路穿过心轴件，电连接于滑环部，通过滑环座电连接于与第二驱动件固定的末端执行器； 心轴件内部设置有电回转接头，供电线路电连接于电回转接头；电回转接头包括定子端和转子端； 其中，主供应结构的电信号经过供电线路传输至传输部，传输部分别为至少两个末端执行器中的电器元件进行供电，两供电线路均电连接于定子端，电信号进入到电回转接头的定子端后由转子端进行电信号的输出；传输部中的每组电路之间可发生相对旋转，使得每组电路随着每个末端执行器的无限回转进行适应动作。

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