合肥领航微系统集成有限公司张政虎获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥领航微系统集成有限公司申请的专利一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223249790U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422113912.1，技术领域涉及：B06B1/06；该实用新型一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT是由张政虎;俞海波设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT，涉及半导体工艺技术领域，包括衬底和压电层，衬底具有相对的正面和背面，压电层位于衬底的正面，压电层包括依次层叠设置的底电极、压电薄膜和顶电极，顶电极包括由至少三组悬臂梁组成的多边体，悬臂梁的横截面为多组梯形拼接形成的多边形，梯形的拼接处形成集中应力的应力拐角，多组悬臂梁通过空气热黏合为一个环形的整体，顶电极的中部为多组悬臂梁拼接形成的等边的中心孔，靠近中心孔一端的相邻悬臂梁之间形成拼接缝。悬臂梁的应力拐角使PMUT振膜应力集中，较传统的直梁、梯形梁和三角梁具有更好的性能，每组悬臂梁长度不同，形成长度不一的谐振梁，长度不一的谐振梁带来了大带宽。
本实用新型一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT在权利要求书中公布了：1.一种通过悬臂梁结构增强性能的PMUT，包括衬底和压电层，其特征在于：衬底具有相对的正面和背面，压电层位于衬底的正面，压电层包括依次层叠设置的底电极3、压电薄膜2和顶电极1，顶电极1包括由至少三组悬臂梁11组成的多边体，悬臂梁11的横截面为多组梯形拼接形成的多边形，梯形的拼接处形成集中应力的应力拐角12，多组悬臂梁11通过空气热黏合为一个环形的整体，顶电极1的中部为多组悬臂梁11拼接形成的等边的中心孔14，靠近中心孔14一端的相邻悬臂梁11之间形成拼接缝13。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥领航微系统集成有限公司，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市高新区孔雀台路2899号联东U谷·合肥高新国际企业港18-101号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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