盖泽智控传感技术(上海)有限公司周益初获国家专利权
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龙图腾网获悉盖泽智控传感技术(上海)有限公司申请的专利一种晶圆字符OCR识别设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223260554U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422185881.0,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆字符OCR识别设备是由周益初;卢利军;周亭成;任杰;包路红设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆字符OCR识别设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆制造技术领域,尤其是一种晶圆字符OCR识别设备。第一驱动部和第二驱动部均由机架进行负担。晶圆边缘数据拾取单元和OCR识别单元执行平移运动的动力源均为第一驱动部,且两者对向而置。晶圆承载台执行平面运动的动力源为第二驱动部。晶圆边缘数据拾取单元通过拾取晶圆的边缘轮廓数据,即可轻松、且有效地判定晶圆形心及其缺口是否符合预期设计要求,且控制器据此发出控制信号至第二驱动部,晶圆承载台得以执行平面运动,与此同时,控制器据同步地发出控制信号至晶圆承载台,晶圆跟随晶圆承载台执行微速周向旋转运动,直至晶圆形心及其缺口均符合预期设计要求,利于后续OCR识别单元精准、且快速地识别晶圆字符。
本实用新型一种晶圆字符OCR识别设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆字符OCR识别设备,其特征在于,包括机架、晶圆承载台、晶圆边缘轮廓数据拾取单元、OCR识别单元、第一驱动部以及第二驱动部;所述第一驱动部和所述第二驱动部均由所述机架进行负担;所述晶圆边缘数据拾取单元和所述OCR识别单元执行平移运动的动力源均为所述第一驱动部,且两者沿着左右方向对向而置;所述晶圆承载台用来承接经由机械手转移而来的晶圆,且执行平面运动的动力源为第二驱动部;当所述晶圆承载台带动晶圆执行周向旋转运动时,所述晶圆边缘轮廓数据拾取单元获取晶圆边缘轮廓数据,所述第二驱动部用于驱动所述晶圆承载台执行平面运动,且在来自于所述晶圆承载台的转动力矩作用下,当晶圆缺口处于预期设计位,所述第一驱动部用于驱动所述晶圆边缘轮廓数据拾取单元和所述OCR识别单元相向地执行平移运动,所述OCR识别单元对晶圆字符进行识别; 所述晶圆承载台包括有承力架、心轴、晶圆落放柱、编码器以及第二同步带传动机构;所述承力架由所述第二驱动部负载;所述心轴以所述承力架作为安装基础,且其纵向穿越所述承力架;所述晶圆落放柱用来落放、且限位晶圆,其同与所述心轴套装为一体,且两者保持同轴;所述第二同步带传动机构用来驱动所述心轴执行周向旋转运动,且其结构主体亦以所述承力架作为安装基础;所述编码器套装于所述心轴上,且执行跟随性周向旋转运动。
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