苏州格罗德集成电路有限公司沙建德获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州格罗德集成电路有限公司申请的专利一种晶圆蚀刻清洗结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260555U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422197108.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆蚀刻清洗结构是由沙建德;邱小磊;邵国艳设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆蚀刻清洗结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆蚀刻清洗结构，包括外壳以及外壳内底面，外壳与外壳内底面之间固定连接，外壳顶端安装有顶板，外壳内底面顶端固定连接安装有传送装置，外壳开设有两相对通口，外壳通口处转动连接有入篮板和出篮板，晶圆放入至晶圆篮内，传送装置将晶圆篮从入篮板位置移动至出篮板处，传送装置中间位置安装有清洁仓，外壳侧壁上端位置固定连接有排气管，外壳的通口设计于外壳中下位置处开口，入篮板和出篮板安装于开口处，废气管安装在顶端位置，使清洁溶液挥发的有害气体从上端废气管内排出，减少溶液对工作环境造成的污染。
本实用新型一种晶圆蚀刻清洗结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆蚀刻清洗结构，包括外壳1，其特征在于：所述外壳内底面顶端固定连接有传送装置，所述外壳1相对的两侧壁各开设有一个通口，两所述外壳1通口处分别铰链连接有入篮板11和出篮板12，所述传送装置顶端滑动连接有晶圆篮5，所述晶圆篮5内放置有若干晶圆，所述传送装置将晶圆篮5从入篮板11位置移动至出篮板12处，所述传送装置中间位置安装有清洁仓4，所述外壳1侧壁上端位置固定连接有排气管13，所述排气管13内安装有吸气泵，所述排气管13内吸气泵的抽出气体速度大于溶液有机废气溢出的速率。
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