上海睿昇半导体科技有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海睿昇半导体科技有限公司申请的专利一种真空腔用加热器及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223261672U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422228389.7，技术领域涉及：H05B3/40；该实用新型一种真空腔用加热器及半导体加工设备是由姚力军;严薪;鲍伟江;昝小磊;占卫君设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空腔用加热器及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体装备领域，公开了一种真空腔用加热器及半导体加工设备。其中真空腔用加热器包括加热丝和盘体。其中加热丝的数量设置为至少两个，盘体的数量设置为多个，多个盘体层叠设置，任意相邻两个盘体之间均设置有加热丝，且多个该盘体由导热材料制成。当使用该真空加热器时，两个加热丝将被通入热源对置于最上方盘体的待加热产品进行加热，使待加热产品有较快的升温速率和更好的热稳定性，进而提高该真空用加热器的使用效率，减少待加热产品的报废率。
本实用新型一种真空腔用加热器及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种真空腔用加热器，其特征在于，包括： 加热丝1，所述加热丝1的数量设置为至少两个； 盘体2，所述盘体2由导热材料制成； 所述盘体2的数量设置为多个，多个所述盘体2层叠设置，任意相邻的两个所述盘体2之间均设置有所述加热丝1。
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