星钥半导体(武汉)有限公司杨东获国家专利权
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龙图腾网获悉星钥半导体(武汉)有限公司申请的专利一种抛光盘上抛光垫缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223251375U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422265509.0，技术领域涉及：B24B49/12；该实用新型一种抛光盘上抛光垫缺陷检测装置是由杨东设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光盘上抛光垫缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种抛光盘上抛光垫缺陷检测装置，应用于晶圆研磨领域，包括：抛光盘和激光扫描器承载架；抛光盘表面设置有抛光垫安装区域；激光扫描器承载架裸露有设置的激光探头；激光扫描器承载架，为沿靠近和远离抛光盘的方向可移动的激光扫描器承载架；激光扫描器承载架与抛光盘对应设置，以在激光扫描器承载架靠近抛光盘时，激光探头位于抛光垫安装区域的上方。本实用新型通过在抛光垫安装区域安装有抛光垫时，利用对应设置的激光探头向抛光垫表面发射激光光束，并接收经抛光垫表面反射的激光光束，进而根据反射延迟确定抛光垫与抛光盘间是否存在气泡缺陷，以提高检测的准确性，同时设置可移动式激光扫描器承载架，提高检测的灵活性。
本实用新型一种抛光盘上抛光垫缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光盘上抛光垫缺陷检测装置，其特征在于，包括： 抛光盘和激光扫描器承载架；所述抛光盘表面设置有抛光垫安装区域； 所述激光扫描器承载架裸露有设置的激光探头； 所述激光扫描器承载架，为沿靠近和远离所述抛光盘的方向可移动的激光扫描器承载架； 所述激光扫描器承载架与所述抛光盘对应设置，以在所述激光扫描器承载架靠近所述抛光盘时，所述激光探头位于所述抛光垫安装区域的上方。
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