上海至纯半导体设备有限公司陈曦明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯半导体设备有限公司申请的专利一种立式炉管设备的内管结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255421U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422278208.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种立式炉管设备的内管结构是由陈曦明;谢永明;杜文正;曹峰峰;陆思健;冯凯设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式炉管设备的内管结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种立式炉管设备的内管结构，所述内管为底部开口、顶部封闭的筒状结构，所述内管的侧壁沿竖向等间距间隔分布有出气口，所述出气口为横向延伸结构。本实用新型在进行化学气相沉积时具有提高晶圆上沉积膜厚度均匀性的优点。
本实用新型一种立式炉管设备的内管结构在权利要求书中公布了：1.一种立式炉管设备的内管结构，所述内管为底部开口、顶部封闭的筒状结构，其特征在于：所述内管的侧壁沿竖向等间距间隔分布有出气口，所述出气口为横向延伸结构，所述内管的顶壁还分布有吸气孔。
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