苏州大族芯科技有限公司鞠志坤获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大族芯科技有限公司申请的专利一种刻蚀腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260556U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422323920.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种刻蚀腔体是由鞠志坤;周春旭设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀腔体在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种刻蚀腔体，包括腔体底板，腔体底板上侧依次设有上下料台、刻蚀池和清洗池，腔体底板上部罩设有外腔罩，外腔罩内通过丝杠和横向滑块设有液压缸，液压缸下端通过双头气缸设有定位夹板，本实用新型由于外腔罩内顶部通过丝杠、横向滑块和轴承座设有液压缸，液压缸下端通过双头气缸设有定位夹板，使得通过双头气缸驱动两个定位夹板移动调节，用于对放置在上下料台上的产品进行夹持固定，然后通过液压缸对产品升降调节，同时通过丝杠驱动产品横移，依次放置在刻蚀池和清洗池内进行刻蚀和清洗处理，清洗完后通过烘干机构对刻蚀完成的产品进行烘干处理，刻蚀效率较高，使用功能性较强。
本实用新型一种刻蚀腔体在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀腔体，包括腔体底板1，其特征在于：所述腔体底板1上侧依次设有上下料台2、刻蚀池3和清洗池5，所述腔体底板1上部罩设有外腔罩22，所述外腔罩22内顶部通过丝杠4设有横向滑块6，所述横向滑块6下侧通过轴承座7和轴承旋转设有液压缸8，所述液压缸8下端通过双头气缸9设有定位夹板10，所述清洗池5上侧的外腔罩22内壁还设有烘干机构。
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