芯恩(青岛)集成电路有限公司汪宋成获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种加热装置及外延机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255524U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422337511.4，技术领域涉及：C30B25/10；该实用新型一种加热装置及外延机台是由汪宋成设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热装置及外延机台在说明书摘要公布了：本申请提供了一种加热装置及外延机台，涉及半导体制造技术领域。包括加热管，所述加热管用于套设在气态管路上，所述加热管包括外保护层、内保护层和加热层，所述加热层位于所述内保护层和所述内保护层之间；所述加热层内设置有沿轴缠绕分布的加热丝，所述加热层靠近所述气态管路的入气口端的所述加热丝的缠绕间距大于所述加热层靠近所述气态管路的出气口端的所述加热丝的缠绕间距。本申请能够适应气体流动过程中温度变化的需要，维持气体管路的温度，防止气态分子冷凝，从而减少管路损伤和杂质引入。
本实用新型一种加热装置及外延机台在权利要求书中公布了：1.一种加热装置，其特征在于，包括加热管，所述加热管用于套设在气态管路上，所述加热管包括外保护层、内保护层和加热层，所述加热层位于所述内保护层和所述内保护层之间； 所述加热层内设置有沿轴缠绕分布的加热丝，所述加热层靠近所述气态管路的入气口端的所述加热丝的缠绕间距大于所述加热层靠近所述气态管路的出气口端的所述加热丝的缠绕间距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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