上海骄成半导体设备技术有限公司石新华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海骄成半导体设备技术有限公司申请的专利一种摆臂翻转倒装固晶机构及装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223260579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422338225.X,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种摆臂翻转倒装固晶机构及装置是由石新华;李晓锋设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种摆臂翻转倒装固晶机构及装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体制造技术领域,具体涉及一种摆臂翻转倒装固晶机构及装置,所述固晶机构包括基座、摆臂电机、升降电机、传动组件和翻转模组,所述基座上安装摆臂电机和升降电机,摆臂电机和升降电机分别连接传动组件,传动组件连接翻转模组;摆臂电机用于驱动翻转模组沿第一方向摆动,升降电机用于驱动翻转模组沿上下方向升降运动;翻转模组包括翻转电机和取料臂,翻转电机驱动取料臂沿第二方向旋转运动,取料臂上设有吸嘴,吸嘴用于吸取晶圆;本实用新型采用拾起晶圆后翻转并加以旋转,提高固晶速度,与蘸胶位距离更加接近以及保持一致的水平面上,从而大大提升生产的效率与稳定性,使用简单快捷,成本低且便于推广应用。
本实用新型一种摆臂翻转倒装固晶机构及装置在权利要求书中公布了:1.一种摆臂翻转倒装固晶机构,其特征在于,包括基座、摆臂电机、升降电机、传动组件和翻转模组,所述基座上安装摆臂电机和升降电机,所述摆臂电机和所述升降电机分别连接所述传动组件,所述传动组件连接所述翻转模组;所述摆臂电机用于驱动所述翻转模组沿第一方向摆动,所述升降电机用于驱动所述翻转模组沿上下方向升降运动;所述翻转模组包括翻转电机和取料臂,所述翻转电机驱动所述取料臂沿第二方向旋转运动,所述取料臂上设有吸嘴,所述吸嘴用于吸取晶圆。
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