深圳市矩阵多元科技有限公司盛林获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利单回路循环水道冷却的高温热蒸发源获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422337551.9，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型单回路循环水道冷却的高温热蒸发源是由盛林;张晓军;姚酉设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本单回路循环水道冷却的高温热蒸发源在说明书摘要公布了：本申请涉及单回路循环水道冷却的高温热蒸发源，其包括基座、坩埚、电极绝缘座、电极、热电偶、加热丝及单回路循环水道；电极绝缘座与单回路循环水道分别设置于基座中，坩埚可拆卸地设置于基座的加热腔中；电极穿过电极绝缘座与加热丝连接，且电极通过电极绝缘座与坩埚相隔离；加热丝于坩埚的长度方向围设于坩埚外；热电偶抵接于坩埚的底部。通过单回路循环水道配合基座的设计，相对于传统夹层水冷方式，加工工艺简单，提供了更稳妥可靠的高密封性设计，结合坩埚、电极绝缘座、电极、热电偶及加热丝的设计，具有结构简单及易于装配的优点；还可采用不同形式的电极、热电偶及加热丝，用来满足不同蒸发材料的不同要求，因此具有适应性广的优点。
本实用新型单回路循环水道冷却的高温热蒸发源在权利要求书中公布了：1.一种单回路循环水道冷却的高温热蒸发源（100），其特征在于，包括基座（1）、坩埚（2）、电极绝缘座（6）、电极（20）、热电偶（24）、加热丝（25）及单回路循环水道（26）； 所述电极绝缘座（6）与所述单回路循环水道（26）分别设置于所述基座（1）中，所述坩埚（2）可拆卸地设置于所述基座（1）的加热腔（27）中； 所述加热丝（25）穿过所述电极绝缘座（6）与所述电极（20）连接，且所述电极（20）通过所述电极绝缘座（6）与所述坩埚（2）相隔离； 所述加热丝（25）于所述坩埚（2）的长度方向（200）围设于所述坩埚（2）外； 所述热电偶（24）抵接于所述坩埚（2）的底部（201）。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市矩阵多元科技有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号