博海新能源(合肥)有限公司宋世运获国家专利权
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龙图腾网获悉博海新能源(合肥)有限公司申请的专利一种用于化学气相沉积的进气机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255423U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422398531.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种用于化学气相沉积的进气机构是由宋世运;苏俊;程鹏;谢文鹏;袁磊设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学气相沉积的进气机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于化学气相沉积的进气机构，其应用于化学气相沉积的石英管，所述用于化学气相沉积的进气机构包括至少两组分布在石英管内两侧的进气组件，各进气组件均包括若干个长度不同且两端贯通的进气管。本实用新型通过在石英管内两侧设置进气组件，各进气组件设置若干个长度不同的进气管，进气管的出气端位于石英管内不同位置，以向石英管内不同深度处通入硅烷，可以将各进气管设置不同的进气流量，能够保证石英管内气场的均匀性，从而降低石英管内气体密度的差异性，从而保证非晶硅薄膜质量，降低石英管内薄膜厚度的差异，并且取消了进气管上的进气孔设置，可以显著提高进气管的使用寿命，同时降低了进气管更换所带来的对现场SPC控制的影响。
本实用新型一种用于化学气相沉积的进气机构在权利要求书中公布了：1.一种用于化学气相沉积的进气机构，其应用于化学气相沉积的石英管1，其特征在于，所述用于化学气相沉积的进气机构包括至少两组分布在石英管1内两侧的进气组件，各所述进气组件均包括若干个长度不同且两端贯通的进气管2。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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