合肥领航微系统集成有限公司张政虎获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥领航微系统集成有限公司申请的专利一种压电PMUT及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119500535B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411365886.X，技术领域涉及：B06B1/06；该发明授权一种压电PMUT及其制备方法是由张政虎;徐妍;徐涛设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电PMUT及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种压电PMUT及其制备方法，包括衬底，衬底具有相对的正面及背面，衬底正面形成压电层，衬底贯穿开设背腔，在压电层表面形成结构层，结构层的厚度大于压电层中压电薄膜的厚度，使中性面位于结构层横向投影面积范围内；结构层的振膜区域开设缝隙，形成中心结构和若干振动结构，相邻振动结构通过连接梁连接，每个振动结构均通过连接梁与中心结构连接；制备方法包括：准备衬底；生长压电层；刻蚀压电层；生长结构层；刻蚀结构层；贯穿刻蚀衬底，形成背腔；本发明采用氧化硅作为结构层，氧化硅的杨氏模量低，工艺应力低，可以有效降低谐振频率，同时通过在振膜上开缝，形成蜂窝状的结构，可以有效地分散冲击能量，器件稳定性高。
本发明授权一种压电PMUT及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种压电PMUT，包括衬底1，所述衬底1具有相对的正面及背面，所述衬底1正面形成压电层2，其特征在于，所述衬底1贯穿开设背腔，在所述压电层2表面形成结构层3，所述结构层3的厚度大于压电层2中压电薄膜22的厚度，使中性面位于所述结构层3横向投影面积范围内； 背腔纵向投影面积范围内的压电层2和结构层3为振膜，结构层3的振膜区域开设缝隙，形成中心结构333和围绕中心结构333的若干振动结构332，相邻振动结构332通过连接梁331连接，每个振动结构332均通过连接梁331与中心结构333连接； 所述中心结构333的横截面为正六边形。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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