昂纳科技(深圳)集团股份有限公司马文鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉昂纳科技(深圳)集团股份有限公司申请的专利一种垂直升降偏转装置及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255399U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422411108.1，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种垂直升降偏转装置及薄膜沉积设备是由马文鹏;王世辉设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直升降偏转装置及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种垂直升降偏转装置及薄膜沉积设备。垂直升降偏转装置包括：工作台，以及设置在工作台上的成膜室，所述成膜室的顶部盖设有薄膜沉积工件台；所述工作台上还设置有支撑架，所示支撑架上设置有顶升组件和导向组件；所述导向组件包括导向柱和导向架，所述薄膜沉积工件台上设置有与所述导向柱和所述导向架滑动连接的连接板，所述顶升组件与所述连接板抵持，所述连接板滑动至所述导向架顶端时，能够以所述导向柱为圆心相对所述导向架偏转。采用上述方式，能够提升对薄膜沉积工件台维护的方便性，降低操作难度，并且提升操作时的安全性。
本实用新型一种垂直升降偏转装置及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种垂直升降偏转装置，其特征在于，包括：工作台，以及设置在工作台上的成膜室，所述成膜室的顶部盖设有薄膜沉积工件台；所述工作台上还设置有支撑架，所示支撑架上设置有顶升组件和导向组件；所述导向组件包括导向柱和导向架，所述薄膜沉积工件台上设置有与所述导向柱和所述导向架滑动连接的连接板，所述顶升组件与所述连接板抵持，所述连接板滑动至所述导向架顶端时，能够以所述导向柱为圆心相对所述导向架偏转。
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