台湾积体电路制造股份有限公司杨基获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微影系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260028U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422414479.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型微影系统是由杨基;叶柏远;林哲信;尤仁傑;罗忠文设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本微影系统在说明书摘要公布了：一种微影系统包含一光源及至少一个反射器。光源包括一液滴产生器、一储液器、一监测组件及一收集器。储液器与该液滴产生器流体连通。监测组件具有连接至该储液器外部的至少两个电极。收集器位于该液滴产生器下方。该反射器与该收集器光学耦合。
本实用新型微影系统在权利要求书中公布了：1.一种微影系统，其特征在于，包含： 一光源，包括： 一液滴产生器； 一储液器，与该液滴产生器流体连通； 一监测组件，具有连接至该储液器外部的至少两个电极；及 一收集器，位于该液滴产生器下方；及 至少一个反射器，与该收集器光学耦合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人台湾积体电路制造股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号