均豪精密工业股份有限公司吴庭毅获国家专利权
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龙图腾网获悉均豪精密工业股份有限公司申请的专利晶圆匣获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260564U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422430711.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型晶圆匣是由吴庭毅;张瑞宗;刘保正;许旬全;彭绍晟设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆匣在说明书摘要公布了：一种晶圆匣包含架体、至少一对第一限位单元与至少一对第二限位单元。第一与第二限位单元设置于架体，每个第一限位单元包含连接架体的第一主体与多个连接第一主体的第一凸出部。每个第一凸出部朝向另一第一限位单元并具有相对第一主体倾斜的第一限位面，相邻的两第一限位面定义第一限位空间于其中。每个第二限位单元包含连接架体的第二主体与多个连接第二主体的第二凸出部。每个第二凸出部朝向另一第二限位单元并具有相对第二主体倾斜的第二限位面，相邻的两第二限位面定义第二限位空间于其中。第一与第二限位空间配置以至少部分容置晶圆。晶圆匣能有效优化晶圆浸泡于药液的效果。
本实用新型晶圆匣在权利要求书中公布了：1.一种晶圆匣，其特征在于，包含： 一架体； 至少一对第一限位单元，设置于该架体并彼此相对，所述至少一对第一限位单元中每一者包含： 一第一主体，连接该架体；以及 多个第一凸出部，分别连接该第一主体并至少部分朝向所述至少一对第一限位单元中的另一者，所述多个第一凸出部中每一者具有至少一第一限位面，该第一限位面相对该第一主体倾斜，该第一限位面与所述多个第一凸出部中相邻一者的该第一限位面共同定义一第一限位空间于其中，该第一限位空间配置以至少部分容置一晶圆；以及 至少一对第二限位单元，设置于该架体并彼此相对，所述至少一对第二限位单元中每一者包含： 一第二主体，连接该架体；以及 多个第二凸出部，分别连接该第二主体并至少部分朝向所述至少一对第二限位单元中的另一者，所述多个第二凸出部中每一者具有至少一第二限位面，该第二限位面相对该第二主体倾斜，该第二限位面与所述多个第二凸出部中相邻一者的该第二限位面共同定义一第二限位空间于其中，该第二限位空间配置以至少部分容置该晶圆。
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