苏州施密科微电子设备有限公司刘金升获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州施密科微电子设备有限公司申请的专利一种全自动晶圆槽式清洗机密封加压清洗槽获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223250033U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422439004.1,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种全自动晶圆槽式清洗机密封加压清洗槽是由刘金升;谢延锋;陈飞设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动晶圆槽式清洗机密封加压清洗槽在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种全自动晶圆槽式清洗机密封加压清洗槽,包括工装主体以及设置在工装主体中间下侧位置处的安装座,所述安装座的中间内侧位置处设置有硅电极主体,所述安装座的上侧外部位置处设置有多个工装夹具,所述工装主体的上侧左右两端位置处分别设置有上喷淋管,下喷淋管的设置,实现了对硅电极主体下侧的直接清洁,与上喷淋管共同作用,无需翻面,大幅提升了清洗效率,同时确保了清洁的全面性,避免了传统单面清洗后需手动翻转的低效过程,通过上喷淋管及下喷淋管连接的喷淋头,喷出高压水流,能有效克服水珠的表面张力,直接渗透进硅电极主体的微小空隙中,解决了因水珠张力影响而无法深入清洁的问题,确保了清洁的深度和彻底性。
本实用新型一种全自动晶圆槽式清洗机密封加压清洗槽在权利要求书中公布了:1.一种全自动晶圆槽式清洗机密封加压清洗槽,包括工装主体23以及设置在工装主体23中间下侧位置处的安装座17; 所述安装座17的中间内侧位置处设置有硅电极主体14,所述安装座17的上侧外部位置处设置有多个工装夹具13,所述工装主体23的上侧左右两端位置处分别设置有上喷淋管1,所述工装主体23的右前侧外部右方位置处设置有下抽风口3,所述工装主体23的右前侧外部左方位置处设置有上排液口4,所述工装主体23的右前侧外部下方位置处设置有旁通液位5; 所述工装主体23的内侧四角位置处分别设置有电极工装12,所述工装主体23通过连接外部电源进行供电; 所述工装主体23和两个上喷淋管1的连接位置处设置有连接板15,所述工装主体23的下侧外部位置处设置有固定座9,所述工装主体23下侧和安装座17的连接位置处设置有密封圈2,所述安装座17的下侧左右两端位置处开设有底部快排口16,所述安装座17和工装主体23的下侧连接四角位置处分别设置有限位块11,所述安装座17的中间内侧设置有电导率7,所述安装座17的下侧开设有两个底部快排口16; 所述工装主体23的右侧前后两端设置有连通两个上喷淋管1的上进液口10; 其特征在于:所述安装座17的下侧中间前后两端分别设置有下喷淋管8; 所述硅电极主体14所处安装座17的上侧两端分别设置有两个电机座6,所述电机座6的下侧位置处设置有微型电机21,所述微型电机21的下侧位置处连接有驱动轮20,所述驱动轮20的一侧上下两端设置有橡胶滚轮18,两个所述橡胶滚轮18的中间位置处设置有连接轴19。
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