东莞市华石晶电技术有限公司罗建华获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市华石晶电技术有限公司申请的专利一种正背面晶圆检测的暗场照明系统和晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223259550U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422461587.8，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种正背面晶圆检测的暗场照明系统和晶圆检测系统是由罗建华;罗炜桓;何李超;吕永康设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种正背面晶圆检测的暗场照明系统和晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光学测试技术，公开一种正背面晶圆检测的暗场照明系统和晶圆检测系统，包括：上下对称设置的正面系统和背面系统；其中，正面系统和背面系统均设置有支撑装置，以及嵌套在支撑装置内的照明装置；所述照明装置包括环形光源、环形聚光棒和波导锥体；且环形聚光棒、波导锥体依次设置在环形光源至支撑装置的出光口之间；正面系统的支撑装置环绕出光口设有连通吹吸机构的若干通气孔；背面系统的支撑装置环绕出光口设有连通吹吸机构的微孔装置，且背面系统的支撑装置的出光口处设有用于放置晶圆的窗口玻璃。本实用新型旨在实现为晶圆正、背面检测提供暗场照明的同时，使晶圆在检测过程保持平整。
本实用新型一种正背面晶圆检测的暗场照明系统和晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种正背面晶圆检测的暗场照明系统，其特征在于，包括：上下对称设置的正面系统和背面系统；其中，正面系统和背面系统均设置有支撑装置，以及嵌套在支撑装置内的照明装置； 所述照明装置包括环形光源、环形聚光棒和波导锥体；且环形聚光棒、波导锥体依次设置在环形光源至支撑装置的出光口之间； 正面系统的支撑装置环绕出光口设有连通吹吸机构的若干通气孔；背面系统的支撑装置环绕出光口设有连通吹吸机构的微孔装置，且背面系统的支撑装置的出光口处设有用于放置晶圆的窗口玻璃。
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