宁波润平电子材料有限公司惠宏业获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波润平电子材料有限公司申请的专利一种抛光头用保持环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223251352U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422481439.2，技术领域涉及：B24B37/27；该实用新型一种抛光头用保持环是由惠宏业;沈有飞;姚力军;左威;赵梓聿;柏钧天设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光头用保持环在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种抛光头用保持环，所述保持环包括结构板、支撑膜、支撑垫和抛光板；所述结构板和抛光板均为环状且同轴设置；所述结构板的底面设置有沿环向延伸的第一凹槽；所述抛光板的上部设置有与所述第一凹槽匹配的凸起结构，所述凸起结构嵌入第一凹槽内；所述结构板的内圆部分设置支撑膜；所述支撑膜的边缘沿径向延伸并固定设置于结构板和抛光板之间；所述支撑膜的下方设置支撑垫；所述支撑垫的底面与晶圆的顶面接触；所述抛光板的内圆侧面与晶圆的侧面接触。本实用新型提供的保持环能够有效固定晶圆并使其与抛光垫紧密贴合，有利于提高晶圆的去除率和抛光均匀性，并且抛光过程中具有良好的稳定性。
本实用新型一种抛光头用保持环在权利要求书中公布了：1.一种抛光头用保持环，其特征在于，所述保持环包括结构板、支撑膜、支撑垫和抛光板； 所述结构板和抛光板均为环状且同轴设置； 所述结构板的底面设置有沿环向延伸的第一凹槽； 所述抛光板的上部设置有与所述第一凹槽匹配的凸起结构，所述凸起结构嵌入第一凹槽内； 所述结构板的内圆部分设置支撑膜； 所述支撑膜的边缘沿径向延伸并固定设置于结构板和抛光板之间； 所述支撑膜的下方设置支撑垫； 所述支撑垫的底面与晶圆的顶面接触； 所述抛光板的内圆侧面与晶圆的侧面接触。
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