优贝克科技股份有限公司杨雅薇获国家专利权
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龙图腾网获悉优贝克科技股份有限公司申请的专利能抑制变形的遮护板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255388U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422511903.8，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型能抑制变形的遮护板是由杨雅薇设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本能抑制变形的遮护板在说明书摘要公布了：一种能抑制变形的遮护板，适用于覆盖溅镀机台的腔室内的载台，所述载台用以承载待溅镀的基板。所述能抑制变形的遮护板包含板体。所述板体包括下表面，及沿轴线相反于所述下表面的上表面。所述上表面上形成多个同心地围绕所述轴线且沿径向间隔设置的环形沟槽。通过于所述板体的上表面上形成所述同心地围绕所述轴线且沿径向间隔设置的环形沟槽，能分散所述遮护板上薄膜的应力，减缓因薄膜的应力产生的翘曲变形。
本实用新型能抑制变形的遮护板在权利要求书中公布了：1.一种能抑制变形的遮护板，适用于覆盖溅镀机台的腔室内的载台，所述载台用以承载待溅镀的基板，所述能抑制变形的遮护板包含板体；其特征在于：所述板体包括下表面，及沿轴线相反于所述下表面的上表面，所述上表面上形成多个同心地围绕所述轴线且沿径向间隔设置的环形沟槽。
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