广东省新兴激光等离子体技术研究院;北京大学朱昆获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东省新兴激光等离子体技术研究院;北京大学申请的专利方形MPCVD谐振腔体及MPCVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255429U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422526989.1，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型方形MPCVD谐振腔体及MPCVD设备是由朱昆;张蔡婕设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本方形MPCVD谐振腔体及MPCVD设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种方形MPCVD谐振腔体及MPCVD设备，采用了活动式设计的四个侧面板，各个侧面板在上腔盖与底板结构之间进行伸展或收缩移动来改变谐振腔体的边长，可以使谐振腔体中心区域聚焦更多微波模式，通过调节侧面板的边长来改变沉积区域上方电场模式的构成，实现对沉积区域电场分布的精确调控，实现更好的沉积速率、材料质量和沉积均匀性。
本实用新型方形MPCVD谐振腔体及MPCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种方形MPCVD谐振腔体01，其特征在于，包括：上腔盖11，底板结构12以及活动式设计的四个侧面板13；其中，各个侧面板13分别连接在上腔盖11与底板结构12之间，以底板结构12的中心为谐振腔体的中心； 每个侧面板13的上边缘与上腔盖11进行密封连接、下边缘与底板结构12进行密封连接，两个侧面板13之间的接触部位密封连接； 各个侧面板13在上腔盖11与底板结构12之间进行伸展或收缩移动来改变谐振腔体的边长。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东省新兴激光等离子体技术研究院;北京大学，其通讯地址为：510000 广东省广州市白云区龙归街科泰二路13-19号白云高新区·产业创新园17号第5栋整栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号