常州银河世纪微电子股份有限公司耿恩厚获国家专利权
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龙图腾网获悉常州银河世纪微电子股份有限公司申请的专利一种石英炉管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223255530U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422549940.8,技术领域涉及:C30B31/16;该实用新型一种石英炉管是由耿恩厚;刘明风设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英炉管在说明书摘要公布了:本申请属于半导体制造领域,一种石英炉管,包括管体,所述的管体一端封闭,形成封闭端,所述封闭端中部设置有通气接口,所述封闭端还设置有至少两个热偶接口,所述热偶接口靠近所述封闭端的边缘设置。有益效果:本申请中通过在炉管的封闭端设置多个热偶接口,每次使用时可旋转炉管使不同热偶接口位于封闭端的底部,避免石英炉管变形在一个方向累加,延长炉管使用寿命。
本实用新型一种石英炉管在权利要求书中公布了:1.一种石英炉管,其特征在于,包括管体1,所述的管体1一端封闭,形成封闭端2,所述封闭端2中部设置有通气接口3,所述封闭端2还设置有至少两个热偶接口4,所述热偶接口4靠近所述封闭端2的边缘设置。
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