杭州赫瑞半导体科技有限公司胡晓文获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州赫瑞半导体科技有限公司申请的专利一种超高纯碳化硅化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255419U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422548285.4，技术领域涉及：C23C16/32；该实用新型一种超高纯碳化硅化学气相沉积设备是由胡晓文;王欣;鲁春茂设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高纯碳化硅化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种超高纯碳化硅化学气相沉积设备，属于碳化硅加工技术领域，包括支撑板，所述支撑板的顶部可拆卸连接有反应室，所述支撑板上设置有放置结构；所述放置结构包括反应室外壁设置的连接板，所述连接板的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆固定端与支撑板固定连接。当需要使用装置时，可通过电动伸缩杆使得反应室下移，反应室的下移会使得放置板及其相关部件漏出，此时工作人员可以将基材放置到放置板上，并通过弹簧和夹持板对其进行夹持，启动装置进行沉积，启动时，通过电机带动转杆和放置板进行转动，通过放置板的转动带动基材缓慢转动，从而避免缺陷形成或沉积不均匀的情况。
本实用新型一种超高纯碳化硅化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种超高纯碳化硅化学气相沉积设备，包括支撑板1，所述支撑板1的顶部可拆卸连接有反应室2，所述支撑板1上设置有放置结构3，其特征在于，所述放置结构3包括反应室2外壁设置的连接板301，所述连接板301的底部固定连接有电动伸缩杆302，所述电动伸缩杆302固定端与支撑板1固定连接，所述电动伸缩杆302的底部固定连接有底座303，所述底座303上固定连接有连接条304，所述连接条304上设置有电机305，所述电机305的转轴设置有转杆306，所述转杆306的顶部固定连接有放置板307，所述放置板307位于反应室2的内部，所述放置板307的顶部固定连接有弹簧308，所述弹簧308的一端固定连接有夹持板309，所述夹持板309与放置板307滑动连接。
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