湖北碳六科技有限公司孔霞获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北碳六科技有限公司申请的专利一种碳化硅基板定位装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223255428U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422578332.X,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种碳化硅基板定位装置是由孔霞;周游;吕继磊;孔方;肖杰;武迪;李帅;张天燕设计研发完成,并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅基板定位装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅基板定位装置,包括底座,所述底座的一侧设置有定位结构,底座的上端面安装有至少一个支撑座,支撑座上安装有定位座,定位座向底座上设置有定位结构的一侧伸出,定位座上设置有定位缺口。使用时,通过底座上的定位结构对碳化硅基板碳沉积固定装置进行定位,再通过定位缺口对碳化硅基板进行定位,在放置碳化硅基板时,通过定位缺口插入碳化硅基板,就可以使碳化硅基板准确的被固定装置的夹持座夹持。
本实用新型一种碳化硅基板定位装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅基板定位装置,其特征在于:包括底座(10),所述底座(10)的一侧设置有定位结构,底座(10)的上端面安装有至少一个支撑座(12),支撑座(12)上安装有定位座(20),定位座(20)向底座(10)上设置有定位结构的一侧伸出,定位座(20)上设置有定位缺口(21)。
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