北京北方华创微电子装备有限公司邓雅天获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种流体传输管路结构、上电极组件及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223257749U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422588565.8，技术领域涉及：F16L21/06；该实用新型一种流体传输管路结构、上电极组件及半导体工艺设备是由邓雅天;叶琦;许金基设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种流体传输管路结构、上电极组件及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种流体传输管路结构、上电极组件及半导体工艺设备，流体传输管路结构包括至少两个依次连接的绝缘管道，相邻两个所述绝缘管道之间采用紧固件锁紧，并且所述紧固件的热膨胀系数小于所述绝缘管道的热膨胀系数。本申请的流体传输管路结构由于是采用绝缘管道连接而成，因此，射频电源向射频馈入柱加载射频电源时，可以避免射频馈入柱与流体传输管路结构之间发生打火的问题。同时，由于紧固件的热膨胀系数小于绝缘管道的热膨胀系数，温度上升时，热膨胀更大的绝缘管道会被紧固件固定得更紧，可以提高流体传输管路结构接头处的气密性。流体传输管路结构的分段设计，可以降低备件成本。
本实用新型一种流体传输管路结构、上电极组件及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种流体传输管路结构，用于半导体工艺设备，其特征在于，包括至少两个依次连接的绝缘管道，相邻两个所述绝缘管道之间采用紧固件锁紧，并且所述紧固件的热膨胀系数小于所述绝缘管道的热膨胀系数。
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