东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司黄汉乐获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利一种靶材旋转驱动结构及磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422600092.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种靶材旋转驱动结构及磁控溅射设备是由黄汉乐;李轩;朱正尧设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材旋转驱动结构及磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种靶材旋转驱动结构及磁控溅射设备；靶材旋转驱动结构的后端用于连接真空镀膜室，靶材旋转驱动结构包括旋转轴、密封轴套和第一轴承，密封轴套设置在旋转轴的外围，第一轴承位于密封轴套与旋转轴之间，第一轴承套设在旋转轴的前侧。通过在密封轴套和旋转轴之间设置第一轴承，第一轴承套设在旋转轴的前侧，第一轴承对旋转轴的前侧起到支撑作用，当靶材旋转驱动结构的后端与真空镀膜室连接时，旋转轴的前侧不会因为重力而下垂，保证了旋转轴旋转时的同心度，旋转轴在带动靶材进行旋转时更加稳定，溅射镀膜效果更好。
本实用新型一种靶材旋转驱动结构及磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材旋转驱动结构，其特征在于，所述靶材旋转驱动结构的后端用于连接真空镀膜室，所述靶材旋转驱动结构包括旋转轴、密封轴套和第一轴承，所述密封轴套设置在所述旋转轴的外围，所述第一轴承位于所述密封轴套与所述旋转轴之间，所述第一轴承套设在所述旋转轴的前侧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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