东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司黄汉乐获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利一种磁控溅射布气板及磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422600065.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射布气板及磁控溅射装置是由黄汉乐;李轩;朱正尧设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射布气板及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射布气板及磁控溅射装置，布气板包括底板和盖板，盖板用于盖合底板；底板上设置有进气孔，盖板上均匀设置有出气孔，底板邻近盖板的端面上设置有一个主通道和多个分通道，主通道连接多个主布气组，分通道至少连接一个分布气组，分布气组与主布气组对应设置；布气板用于使气体由进气孔进入，气体分别经过主通道和主布气组后，以及分通道和分布气组后，由出气孔布出。其中，主布气组和分布气组可以对气体进行缓冲，使到达出气孔的气体更均匀，另外多个分通道的分布气组，可以配合主布气组布气，进一步使布气均匀。
本实用新型一种磁控溅射布气板及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射布气板，其特征在于，包括底板和盖板，所述盖板用于盖合所述底板；所述底板上设置有进气孔，所述盖板上均匀设置有出气孔，所述底板邻近所述盖板的端面上设置有一个主通道和多个分通道，所述主通道连接多个主布气组，所述分通道至少连接一个分布气组，所述分布气组与所述主布气组对应设置；所述磁控溅射布气板用于使气体由所述进气孔进入，所述气体分别经过所述主通道和主布气组后，以及所述分通道和分布气组后，由所述出气孔布出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇兴成路2号101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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