东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司黄汉乐获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利一种靶材冷却板及磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255394U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422600047.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种靶材冷却板及磁控溅射装置是由黄汉乐;李轩;袁逢曾设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材冷却板及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种靶材冷却板及磁控溅射装置，靶材冷却板包括底板和封板，封板用于盖合底板；在底板的长度方向上，底板的一端设置有进液孔，另一端设置有出液孔；底板邻近封板的端面上设置有流道组，流道组用于使冷却液流过；靶材冷却板用于使冷却液由进液孔流入，冷却液经过流道组后，由出液孔排出。其中，冷却液通过流经流道组，能够使靶材冷却板中的冷却液均匀分布，充分散热。
本实用新型一种靶材冷却板及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种靶材冷却板，其特征在于，包括底板和封板，所述封板用于盖合所述底板；在所述底板的长度方向上，所述底板的一端设置有进液孔，另一端设置有出液孔；所述底板邻近所述封板的端面上设置有流道组，所述流道组用于使冷却液流过；所述靶材冷却板用于使所述冷却液由所述进液孔流入，所述冷却液经过所述流道组后，由所述出液孔排出。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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