东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司黄汉乐获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利一种外置磁场调节机构及磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255393U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422600042.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种外置磁场调节机构及磁控溅射设备是由黄汉乐;李轩;杨江设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外置磁场调节机构及磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种外置磁场调节机构及磁控溅射设备，外置磁场调节机构包括固定组件、转动组件和磁性件，固定组件用于连接磁控溅射设备的阴极，并设置在阴极的外部，转动组件与固定组件连接，可相对于固定组件转动，磁性件设置在转动组件上，与转动组件共同相对于固定组件转动，磁性件用于调节阴极的磁场。在磁控溅射设备的阴极外部设置固定组件，通过固定组件连接转动组件，转动组件上设置磁性件，通过转动组件带动磁性件相对于固定组件转动，即可使磁性件相对于阴极转动，通过磁性件的磁场来调节阴极的磁场分布，使阴极的磁场分布均匀，提高磁控溅射设备镀膜的均匀性。
本实用新型一种外置磁场调节机构及磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种外置磁场调节机构，适用于磁控溅射设备，其特征在于，包括固定组件、转动组件和磁性件，所述固定组件用于连接所述磁控溅射设备的阴极，并设置在所述阴极的外部，所述转动组件与所述固定组件连接，可相对于所述固定组件转动，所述磁性件设置在所述转动组件上，与所述转动组件共同相对于所述固定组件转动，所述磁性件用于调节所述阴极的磁场。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇兴成路2号101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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