君原电子科技(海宁)有限公司李君获国家专利权
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龙图腾网获悉君原电子科技(海宁)有限公司申请的专利一种带有顶针装置的静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223250605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422579771.2，技术领域涉及：B23B31/02；该实用新型一种带有顶针装置的静电卡盘是由李君;陈庶舒;石锗元;肖伟设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有顶针装置的静电卡盘在说明书摘要公布了：本发明公开了一种带有顶针装置的静电卡盘，属于静电卡盘技术领域，包括静电卡盘本体，静电卡盘本体包括静电卡盘基座和静电卡盘陶瓷盘，静电卡盘基座上设有若干基座顶针孔，静电卡盘陶瓷盘上设有与基座顶针孔对应的通孔，任意一个基座顶针孔中设有顶针组件，顶针组件包括底座，底座的上方设有顶针本体，底座与顶针本体之间通过顶针弹簧连接，当静电卡盘陶瓷盘上吸附有晶圆时，顶针本体的上表面与静电卡盘陶瓷盘上表面平齐，顶针弹簧压缩，此时顶针弹簧总的弹力小于静电卡盘本体的吸附力，顶针弹簧总的弹力大于静电卡盘本体上晶圆的重力。通过一体化设置顶针组件，能够降低整体的成本，提升工作效率，降低晶圆与静电卡盘本体分离的时间。
本实用新型一种带有顶针装置的静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种带有顶针装置的静电卡盘，其特征在于，包括静电卡盘本体，所述静电卡盘本体包括静电卡盘基座和静电卡盘陶瓷盘，所述静电卡盘基座上设有若干基座顶针孔，所述静电卡盘陶瓷盘上设有与基座顶针孔对应的通孔，任意一个所述基座顶针孔中设有顶针组件，所述顶针组件包括底座，所述底座的上方设有顶针本体，所述底座与所述顶针本体之间通过顶针弹簧连接，当所述静电卡盘陶瓷盘上吸附有晶圆时，所述顶针本体的上表面与所述静电卡盘陶瓷盘上表面平齐，所述顶针弹簧压缩，此时所述顶针弹簧总的弹力小于所述静电卡盘本体的吸附力，所述顶针弹簧总的弹力大于所述静电卡盘本体上晶圆的重力。
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