芯恩(青岛)集成电路有限公司张琦获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利洗边装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260561U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422613787.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型洗边装置是由张琦;魏晓平设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本洗边装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种洗边装置。该洗边装置，包括：承载基座、位置传感器、挡板与喷头组件；承载基座承载待洗边组件，待洗边组件包括基底与待刻蚀膜层，当待洗边组件放置于承载基座上后，待刻蚀膜层位于基底背向承载基座的一侧；待刻蚀膜层包括待刻蚀区与非刻蚀区；位置传感器位于承载基座上，用于定位待洗边组件的位置，以使校准待洗边组件的放置位置；当校准待洗边组件的放置位置后，挡板放置在待刻蚀膜层的非刻蚀区上，且挡板的侧壁与非刻蚀区的边界对齐；喷头组件将洗边溶液喷向待刻蚀区，将待刻蚀区刻蚀掉。本申请的技术方案，可以控制洗边宽度，使洗边宽度更均匀，而且，可以避免反溅回来的洗边液体落入非刻蚀区，可以提高产品良率。
本实用新型洗边装置在权利要求书中公布了：1.一种洗边装置，其特征在于，包括：承载基座、位置传感器、挡板与喷头组件； 所述承载基座用于承载待洗边组件，所述待洗边组件包括基底与待刻蚀膜层，当所述待洗边组件放置于所述承载基座上后，所述待刻蚀膜层位于所述基底背向所述承载基座的一侧；所述待刻蚀膜层包括待刻蚀区与非刻蚀区，所述待刻蚀区环绕所述非刻蚀区； 所述位置传感器位于所述承载基座上用于承载所述待洗边组件的一侧；当所述待洗边组件放置于所述承载基座上后，所述位置传感器用于定位所述待洗边组件的位置，以使校准所述待洗边组件的放置位置； 当校准所述待洗边组件的放置位置后，所述挡板用于放置在所述待刻蚀膜层的所述非刻蚀区上，且所述挡板的侧壁与所述非刻蚀区的边界对齐； 所述喷头组件用于将洗边溶液喷向所述待刻蚀区，以将所述待刻蚀区刻蚀掉。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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