深圳市新凯来工业机器有限公司王乔慈获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利导流组件及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223260544U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422616298.0，技术领域涉及：H01J37/02；该实用新型导流组件及半导体设备是由王乔慈;关晓燕;赵军设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本导流组件及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种导流组件及半导体设备，涉及半导体技术领域，解决生产效率较低的技术问题。该导流组件包括第一环状主体、第二环状主体、多个挡板，以及与多个挡板传动连接的至少一个驱动件；第二环状主体设置在第一环状主体外，且与第一环状主体间隔设置，第二环状主体朝向第一环状主体的表面上设置有间隔设置的多个容纳槽，每个容纳槽内设置有一个挡板，至少一个驱动件驱动多个挡板中的一个或者多个靠近或者远离第一环状主体。本申请实施例中，通过调整伸出容纳槽的挡板的位置和数量，可以调整气流通道的大小、数量和分布，在无需开腔进行更换的基础上改变反应腔室内的流导，提高生产效率。
本实用新型导流组件及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种导流组件，其特征在于，包括：第一环状主体、第二环状主体、多个挡板，以及与所述多个挡板传动连接的至少一个驱动件； 所述第二环状主体设置在所述第一环状主体外，且与所述第一环状主体间隔设置，所述第二环状主体朝向所述第一环状主体的表面上设置有间隔设置的多个容纳槽，每个所述容纳槽内设置有一个所述挡板，所述至少一个驱动件用于驱动所述多个挡板中的一个或多个靠近或者远离所述第一环状主体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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