芯恩(青岛)集成电路有限公司孔贺廷获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利CVD设备及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255420U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422614334.X，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型CVD设备及半导体设备是由孔贺廷;刘瑞;宋焕骁设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本CVD设备及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种CVD设备及半导体设备。其中，所述CVD设备中的加热装置在加热带的外表面设置了感温结构，且所述感温结构包括热敏颜料。由于所述热敏颜料受到温度的变化会随之发生颜色变化，所以所述加热带在不同温度下，所述感温结构会呈现出不同的颜色，具有明显的视觉分辨效果，从而可以实现对所述加热带温度的可视化监控，利于及时发现所述加热带失温的情况，有效避免了因未及时发现所述加热带失温而影响CVD设备或其它半导体设备的正常工艺效果。因此，所述感温结构不但能够提高对加热带温度的监控效率，而且所述热敏颜料的制备成本较低，可实施性强。
本实用新型CVD设备及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种CVD设备，其特征在于，包括反应腔室、输气管路以及加热装置； 所述反应腔室与所述输气管路相连通，所述加热装置套设于所述输气管路的外表面；其中，所述加热装置包括：加热带和感温结构；且所述感温结构设置于所述加热带的外表面，且所述感温结构包括热敏颜料，以使所述加热带在不同温度下，所述感温结构呈不同颜色。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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