芯纳(扬州)微电子设备有限公司戚增欣获国家专利权
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龙图腾网获悉芯纳(扬州)微电子设备有限公司申请的专利一种用于高真空镀膜设备的挡片同步升降结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255405U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422598230.4，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种用于高真空镀膜设备的挡片同步升降结构是由戚增欣设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于高真空镀膜设备的挡片同步升降结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了镀膜设备技术领域内的一种用于高真空镀膜设备的挡片同步升降结构，包括：基片台升降组件，安装在真空腔上，用以驱动基片台升降，包括伸入真空腔设置的基片台以及控制基片台升降的基片台驱动组件；挡片升降组件，安装在真空腔上，用于驱动挡片升降，包括伸入真空腔设置的挡片以及控制挡片升降的挡片驱动组件；同步升降组件，安装在真空腔上，用以同时驱动基片台升降组件和挡片升降组件升降，包括丝杆升降机，丝杆升降机的升降螺母与同步板相连，基片台驱动组件和挡片驱动组件安装在同步板的两端，本实用新型解决了现有基片台与挡片无法实现相对位置调整的问题，可实现两者的相对独立升降，减少了手动操作。
本实用新型一种用于高真空镀膜设备的挡片同步升降结构在权利要求书中公布了：1.一种用于高真空镀膜设备的挡片同步升降结构，其特征在于，包括： 基片台升降组件（100），安装在真空腔（400）上，用以驱动基片台（101）升降，包括伸入真空腔（400）设置的基片台（101）以及控制基片台（101）升降的基片台驱动组件（102）； 挡片升降组件（200），安装在真空腔（400）上，用于驱动挡片（201）升降，包括伸入真空腔（400）设置的挡片（201）以及控制挡片（201）升降的挡片驱动组件（202）； 同步升降组件（300），安装在真空腔（400）上，用以同时驱动基片台升降组件（100）和挡片升降组件（200）升降，包括丝杆升降机（301），所述丝杆升降机（301）的升降螺母与同步板（302）相连，所述基片台驱动组件（102）和挡片驱动组件（202）安装在同步板（302）的两端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯纳(扬州)微电子设备有限公司，其通讯地址为：225000 江苏省扬州市邗江区西湖街道美湖路2号-18幢-1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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