山东华擎导电新材料科技有限公司曾庆熙获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华擎导电新材料科技有限公司申请的专利一种清洁型真空磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223255391U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422596251.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种清洁型真空磁控溅射设备是由曾庆熙;扈锋;李强;郑立冬设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洁型真空磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种清洁型真空磁控溅射设备，涉及真空磁控溅射技术领域。本实用新型包括主架机构，所述主架机构包括真空室，所述真空室内部设置有清洁组件，所述清洁组件内部设置有夹持组件，所述清洁组件包括挡板，所述挡板内壁接触有刮板二，所述挡板外壁接触有刮板一，所述刮板一与刮板二顶部的左侧和右侧均固定连接有支杆，所述真空室顶部设置有盖板，所述盖板底部的左侧和右侧均开设有T型滑槽。本实用新型通过设置清洁组件，具体是打开盖板带动T型滑块进行运动，T型滑块运动的同时带动支杆一起向上运动，刮板一和刮板二通过支杆运动会跟着一起向上运动并对挡板表面进行刮除，大幅降低了靶材粒子的残留，大幅提升了设备的清洁性。
本实用新型一种清洁型真空磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种清洁型真空磁控溅射设备，包括主架机构1，所述主架机构1包括真空室112，所述真空室112内部设置有清洁组件2，所述清洁组件2内部设置有夹持组件3，其特征在于： 所述清洁组件2包括挡板212，所述挡板212内壁接触有刮板二214，所述挡板212外壁接触有刮板一213，所述刮板一213与刮板二214顶部的左侧和右侧均固定连接有支杆211。
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