安徽纬科材料科技有限公司孔伟华获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽纬科材料科技有限公司申请的专利一种靶材位置可调整的溅射靶材基座获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223255389U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422597474.0,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种靶材位置可调整的溅射靶材基座是由孔伟华;郭向东设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材位置可调整的溅射靶材基座在说明书摘要公布了:本实用新型涉及溅射靶材技术领域,特别涉及一种靶材位置可调整的溅射靶材基座,包括工作台,所述工作台的上表面靠近左右两侧位置均固定有横向的导轨,且导轨上卡装有可左右移动的支撑杆,左右两侧所述的支撑杆相对的一侧靠近上端位置固定有靶材固定座,所述工作台的下表面中间部位固定有电动升降杆。利用支撑杆的调节从而对靶材和工件进行距离的调节,在调节完成后,通过电机驱动工件固定座转动从而使得工件相对左右两侧的靶材固定座内装夹的靶材进行转动从而进行全面的溅镀,同时电动升降杆则驱动工件固定座进行不断的升降调节从而对工件进行不同位置的溅镀,无需人为的进行多次的手动调节,使得工件的溅镀调节更加的方便。
本实用新型一种靶材位置可调整的溅射靶材基座在权利要求书中公布了:1.一种靶材位置可调整的溅射靶材基座,包括工作台1,其特征在于:所述工作台1的上表面靠近左右两侧位置均固定有横向的导轨2,且导轨2上卡装有可左右移动的支撑杆3,左右两侧所述的支撑杆3相对的一侧靠近上端位置固定有靶材固定座4,所述工作台1的下表面中间部位固定有电动升降杆7,且电动升降杆7的顶杆穿过工作台1固定有固定盘71,所述固定盘71的上侧固定有罩壳6,且罩壳6的内侧固定有电机8,所述电机8的输出轴穿过罩壳6的顶部固定有工件固定座5。
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