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视拓(苏州)工业自动化有限公司惠洁获国家专利权

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龙图腾网获悉视拓(苏州)工业自动化有限公司申请的专利一种稳定安全的晶圆半导体夹持结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223251482U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422662627.5,技术领域涉及:B25B11/00;该实用新型一种稳定安全的晶圆半导体夹持结构是由惠洁;李硕硕;张永帅;胡浩;顾云龙设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种稳定安全的晶圆半导体夹持结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种稳定安全的晶圆半导体夹持结构,其涉及晶圆片的夹持技术领域,旨在解决现有的晶圆夹持结构在自动适应不同尺寸的晶圆上存在局限性,且在夹持过程中对晶圆进行高保护上存在不足的问题,其技术方案要点包括支撑座,所述支撑座的端面上固定连接有连接杆,所述连接杆的一端固定连接有托板,所述托板的背部固定连接有多个轨道,所述轨道的滑槽内滑动安装有夹持爪,所述夹持爪的夹持面上胶水粘连有夹持气囊,所述夹持气囊的侧表面上连通有导气管,所述导气管的一端固定安装有导气软管。达到了能自动适应不同尺寸的晶圆片,并对晶圆片进行夹持,且在夹持的过程中避免晶圆片受到损坏的效果。

本实用新型一种稳定安全的晶圆半导体夹持结构在权利要求书中公布了:1.一种稳定安全的晶圆半导体夹持结构,包括支撑座1,其特征在于:所述支撑座1的端面上固定连接有连接杆10,所述连接杆10的一端固定连接有托板2,所述托板2的背部固定连接有多个轨道7,所述轨道7的滑槽内滑动安装有夹持爪4,所述夹持爪4的夹持面上胶水粘连有夹持气囊5,所述夹持气囊5的侧表面上连通有导气管6,所述导气管6的一端固定安装有导气软管13,所述导气软管13的一端连通有检测座11,所述检测座11的端面上设置有安装孔,且安装孔的内部安装有气压传感器12。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人视拓(苏州)工业自动化有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路35号14号厂房3层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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