东莞理工学院王红成获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞理工学院申请的专利一种可去污的晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223259552U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422699600.3，技术领域涉及：G01N21/15；该实用新型一种可去污的晶圆检测设备是由王红成;黄晓园设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可去污的晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型的一种可去污的晶圆检测设备，包括晶圆承载盘，晶圆承载盘上开有供晶圆放入定位的圆形定位槽，晶圆承载盘上方设有用于吹走晶圆顶面污染物的吹气机构和用于对晶圆进行检测的摄像机，在定位槽侧槽壁上开有用于吸走晶圆边缘污染物的负压吸污口。由于在定位槽侧槽壁上开有负压吸污口，负压吸污口能够吸走被吹到晶圆边缘的污染物，从而除去这些污染物，降低污染物对晶圆边缘的污染。
本实用新型一种可去污的晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种可去污的晶圆检测设备，包括晶圆承载盘，晶圆承载盘上开有供晶圆放入定位的圆形定位槽，晶圆承载盘上方设有用于吹走晶圆顶面污染物的吹气机构和用于对晶圆进行检测的摄像机，其特征在于：在定位槽侧槽壁上开有用于吸走晶圆边缘污染物的负压吸污口。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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