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芯恩(青岛)集成电路有限公司吴瑶获国家专利权

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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利调节装置及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223255430U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422693841.7,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型调节装置及半导体设备是由吴瑶设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

调节装置及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种调节装置及半导体设备。其中,所述调节装置利用所述电机实现对各个所述调节螺丝的定量旋拧,进而能够精准控制对所述待调节件的位置调节量。进一步的,所述调节装置还设置有水平仪,所述水平仪设置于所述连接组件的顶面,不仅可以辅助所述电机对所述待调节件的位置的精准调节,还能够在不开腔的情况下,实时监测所述待调节件的位置状态,操作简便,且效率高,从而有效避免了因调节失误而造成硅片划损等问题,利于提高产品良率。

本实用新型调节装置及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种调节装置,其特征在于,包括装置本体和多个电机; 所述装置本体包括连接组件和多个调节螺丝;所述连接组件的顶面与所述多个调节螺丝相接,所述连接组件的底面与待调节件相接;其中,所述多个电机与所述多个调节螺丝一一对应相接,且所述电机能够驱动对应的所述调节螺丝转动,以经所述连接组件调节所述待调节件的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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