江苏三米科思半导体设备有限公司徐保伟获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏三米科思半导体设备有限公司申请的专利一种图形晶圆缺陷检测相机行频锁相环控制的时钟装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223261526U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422729535.4,技术领域涉及:H03L7/093;该实用新型一种图形晶圆缺陷检测相机行频锁相环控制的时钟装置是由徐保伟;朱俊设计研发完成,并于2024-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种图形晶圆缺陷检测相机行频锁相环控制的时钟装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于电子电路技术领域,具体涉及一种图形晶圆缺陷检测相机行频锁相环控制的时钟装置,本时钟装置包括:编码电路、二分频电路、第一滤波电路、信号处理电路、第一分频电路、第二滤波电路、模拟量峰值调整电路、双向比较器电平调理电路和锁相环电路;本实用新型通过编码电路获取运动过程中的正弦和余弦模拟量位置或数字量信号,统一转换成模拟量后由信号处理电路进行线性化处理、数字滤波、角度插值细分,再分频、带通滤波、增益阈值控制、数字方波整形、锁相、相机行频时钟调节,最终得到满足实际应用的数字触发信号,实现相机行频时钟在线任意可调,运动位置和行频时钟相位始终保持锁定状态,提高晶圆缺陷检测的精准度。
本实用新型一种图形晶圆缺陷检测相机行频锁相环控制的时钟装置在权利要求书中公布了:1.一种图形晶圆缺陷检测相机行频锁相环控制的时钟装置,其特征在于,包括: 依次电性连接的编码电路、二分频电路、第一滤波电路、信号处理电路、第一分频电路、第二滤波电路、模拟量峰值调整电路、双向比较器电平调理电路和锁相环电路; 所述编码电路适于获取设备一的信号,且该信号经所述二分频电路、第一滤波电路、信号处理电路、第一分频电路、第二滤波电路、模拟量峰值调整电路、双向比较器电平调理电路、锁相环电路发送至设备二。
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