江苏三米科思半导体设备有限公司王亚德获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏三米科思半导体设备有限公司申请的专利一种深紫外物镜同轴的自动聚焦焦点位置偏置镜筒组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223259949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422790054.4，技术领域涉及：G02B7/09；该实用新型一种深紫外物镜同轴的自动聚焦焦点位置偏置镜筒组件是由王亚德;付文升;陈彬设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种深紫外物镜同轴的自动聚焦焦点位置偏置镜筒组件在说明书摘要公布了：本实用新型属于光学设计技术领域，具体涉及一种深紫外物镜同轴的自动聚焦焦点位置偏置镜筒组件，本自动聚焦焦点位置偏置镜筒组件包括：镜筒单元和移动单元；其中所述镜筒单元与移动单元活动连接，且所述镜筒单元位于光路上；所述移动单元适于带动镜筒单元沿光路方向水平移动，以调整光路经所述镜筒单元聚焦在晶圆上的焦距；本实用新型通过将镜筒单元活动安装在移动单元上，移动单元能够带动镜筒单元移动，能够实现自动聚焦焦点在一定范围内的自由移动，满足自动聚焦焦点高度与最佳检测高度重合的需求，进而达到最佳的缺陷检测效果。
本实用新型一种深紫外物镜同轴的自动聚焦焦点位置偏置镜筒组件在权利要求书中公布了：1.一种深紫外物镜同轴的自动聚焦焦点位置偏置镜筒组件，其特征在于，包括： 镜筒单元（1）和移动单元（2）；其中 所述镜筒单元（1）与移动单元（2）活动连接，且所述镜筒单元（1）位于光路（3）上； 所述移动单元（2）适于带动镜筒单元（1）沿光路（3）方向水平移动，以调整光路（3）经所述镜筒单元（1）聚焦在晶圆（10）上的焦距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏三米科思半导体设备有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市天宁区常州检验检测产业园5号楼101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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