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宁波优璞半导体科技有限公司叶文君获国家专利权

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龙图腾网获悉宁波优璞半导体科技有限公司申请的专利一种压力膜和压力膜内钢圈保持同心度的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119610703B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411828838.X,技术领域涉及:B29C65/64;该发明授权一种压力膜和压力膜内钢圈保持同心度的方法是由叶文君;夏雁宾;冯宗华设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种压力膜和压力膜内钢圈保持同心度的方法在说明书摘要公布了:本发明属于芯片加工技术领域,具体公开了一种压力膜和压力膜内钢圈保持同心度的方法,包括如下步骤:钢圈除尘去油处理,钢圈表面喷砂处理,并用超声波清洗,取出后吹干净再用烤箱烘烤,去除水分;钢圈表面预处理,将钢圈浸泡在硅胶粘剂溶液内,取出烘干;真空热模压成型,在平板成型硫化机上完成模具组装后,将治具放入模具内,将钢圈放入治具内,再把5个条形硅胶胶料投放入钢圈表面进行真空热模压成型;质量检测。本发明采用上述的一种压力膜和压力膜内钢圈保持同心度的方法,通过改变摆料方式和设备参数来实现钢圈不变形和保持同心度,避免影响晶圆的研磨,同时不必重新开模具或改模,达到降低开发新产品研发成本的目的。

本发明授权一种压力膜和压力膜内钢圈保持同心度的方法在权利要求书中公布了:1.一种压力膜和压力膜内钢圈保持同心度的方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤一,钢圈除尘去油处理,钢圈表面喷砂处理使粗糙度达到4.0Ra3.5,并用超声波清洗10分钟,取出后吹干净再用烤箱80度烘烤10分钟,去除水分;钢圈的横截面为凹字型; 步骤二,钢圈表面预处理,将钢圈浸泡在硅胶粘剂溶液内,待钢圈完全浸透后取出并晾干,晾干后放入烤箱内烘干; 步骤三,真空热模压成型,在平板成型硫化机上完成模具组装后,将治具放入模具内,将钢圈放入治具内,再把5个条形硅胶胶料投放入钢圈表面进行真空热模压成型; 治具呈环形,上表面沿周向设有均匀分布的定位角,钢圈位于治具内部;条形硅胶胶料宽度为10mm,厚度为3mm;条形硅胶胶料投放入钢圈表面的操作为:将5个条形硅胶胶料横向放置于钢圈表面,5个条形硅胶胶料的两头分别压到钢圈边缘且延伸出5mm,其中一个条形硅胶胶料过钢圈中心,过钢圈中心的条形硅胶胶料上下两侧各设有两个条形硅胶胶料,5个条形硅胶胶料的摆放间隔为30-40mm; 步骤四,质量检测,用光学放大镜目检产品表面外观检测,用3D扫描仪检测钢圈在膜内的面是否平整,有无变形与压力膜下垂现象,再用2D投影仪测量钢圈与压力膜的同心度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁波优璞半导体科技有限公司,其通讯地址为:315622 浙江省宁波市宁海县宁波南部滨海新区滨园北路28号4幢1-5号(自主申报);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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