朗姆研究公司阿希尔·N·辛格尔获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利气泡缺陷减少获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113016053B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980075195.7，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权气泡缺陷减少是由阿希尔·N·辛格尔;巴特·简·范施拉芬迪克;吉里什·A·迪克西特;大卫·C·史密斯;西瓦·克里希南·卡纳卡萨巴帕蒂设计研发完成，并于2019-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本气泡缺陷减少在说明书摘要公布了：在一些示例中，一种处理衬底的方法包括：在衬底的表面上施加光致抗蚀剂PR，在PR上沉积或蚀刻金属氧化物MO层之前，将PR预先暴露于紫外线UV光，然后在将PR预先暴露于UV光之后，在PR上沉积或蚀刻MO层。
本发明授权气泡缺陷减少在权利要求书中公布了：1.一种处理衬底的方法，所述方法包括： 在所述衬底的表面上施加正性光致抗蚀剂PR； 在所述PR上沉积或蚀刻金属氧化物层之前将所述PR预先暴露于紫外线光，其中所述预先暴露所述PR减少气泡缺陷；以及 在将所述PR预先暴露于紫外线光之后，在所述PR上沉积或蚀刻金属氧化物层从而形成间隔物。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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