ASML荷兰有限公司S·A·米德尔布鲁克获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于降低机器学习模型预测中的不确定性的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113168556B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980078859.5，技术领域涉及：G06N3/0455；该发明授权用于降低机器学习模型预测中的不确定性的方法是由S·A·米德尔布鲁克;M·G·M·M·范克莱杰;M·皮萨伦科设计研发完成，并于2019-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于降低机器学习模型预测中的不确定性的方法在说明书摘要公布了：本文描述了一种用于量化参数化例如，机器学习模型预测中的不确定性的方法。该方法包括使参数化模型预测来自参数化模型的针对给定输入的多个后验分布。该多个后验分布包括多个分布中的分布。该方法包括通过从多个分布中的分布采样来确定针对给定输入的所预测的多个后验分布的可变性；并使用所预测的多个后验分布中的所确定的可变性来量化参数化模型预测中的不确定性。参数化模型包括编码器‑解码器架构。该方法包括使用所预测的多个后验分布中的所确定的可变性来调整参数化模型以降低参数化模型的不确定性用于预测晶片几何、重叠和或其他信息作为半导体制造过程的一部分。
本发明授权用于降低机器学习模型预测中的不确定性的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于量化针对光刻模拟的参数化模型预测中的不确定性的方法，所述方法包括： 使与集成电路制造过程有关的参数化模型对来自所述参数化模型的针对与所述集成电路制造过程有关的给定输入的多个后验分布进行预测，所述多个后验分布包括多个分布中的分布； 通过从多个分布中的所述分布采样来确定针对所述给定输入的所预测的所述多个后验分布的可变性； 使用所预测的所述多个后验分布中的所确定的所述可变性来量化来自所述参数化模型的与所述光刻模拟相关联的预测的不确定性；以及 调整所述参数化模型的一个或多个参数以降低与所述光刻模拟相关联的所述预测的所述不确定性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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