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清华大学;华海清科股份有限公司刘远航获国家专利权

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龙图腾网获悉清华大学;华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113130371B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911407703.5,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置是由刘远航;赵德文;王江涛设计研发完成,并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置,晶圆支撑装置包括支撑组件,所述支撑组件移动以水平支撑晶圆;至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。本发明所述晶圆支撑装置使得支撑辊与晶圆的外缘均匀接触,保证晶圆的可靠支撑,设置在晶圆侧部的清洗刷有效去除晶圆表面的杂物,实现晶圆表面的清洗。

本发明授权一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆支撑装置,其特征在于,包括支撑组件,所述支撑组件移动以水平支撑晶圆;至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置; 所述支撑组件包括支撑板和支撑辊,支撑板上设置有主动支撑辊和从动支撑辊,所述支撑组件摆动以调节支撑辊与晶圆外缘的间隙;所述支撑板通过回转组件与移动组件连接,所述移动组件带动支撑板及支撑辊相向移动以水平支撑晶圆;所述回转组件包括连接轴和套筒,所述连接轴的一端与支撑组件连接,其另一端枢接于设置在移动组件的套筒;所述连接轴的端部与套筒内的衬套间隙配合,其绕衬套自适应转动,以带动支撑组件沿水平方向摆动;所述衬套由聚四氟乙烯制成; 所述支撑辊包括连接部和位于连接部顶部的支撑部,所述支撑部包括上支撑体、垫圈及下支撑体,所述垫圈设置于上支撑体与下支撑体形成的凹槽内;所述垫圈与上支撑体及下支撑体接触的外侧面和或部分顶面设置有间隙;所述垫圈与上支撑体及下支撑体触的外侧面之间的间隙为0.1mm-0.5mm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人清华大学;华海清科股份有限公司,其通讯地址为:100084 北京市海淀区清华园1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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