天虹科技股份有限公司林俊成获国家专利权
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龙图腾网获悉天虹科技股份有限公司申请的专利震动式薄膜沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116479407B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210050028.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权震动式薄膜沉积装置是由林俊成设计研发完成，并于2022-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本震动式薄膜沉积装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种震动式薄膜沉积装置，主要包括一真空腔体、一固定杆体及一粉末槽，其中真空腔体包括至少一内侧面，并于内侧面上设置复数个凸起部及复数个凹陷部。固定杆体及粉末槽设置在真空腔体的一容置空间内，其中粉末槽用以装设粉末，并经由至少一凸出单元接触真空腔体的内侧面。真空腔体相对于固定杆体转动时，凸出单元会在凸起部及凹陷部之间位移，使得连接固定杆的粉末槽相对于真空腔体上下位移，并震动粉末槽内的粉末，以在粉末的表面形成均匀的薄膜。
本发明授权震动式薄膜沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种震动式薄膜沉积装置，其特征在于，包括： 一真空腔体，包括至少一内侧面，并于该内侧面内形成一容置空间，其中该内侧面设置复数个凸起部及复数个凹陷部； 一固定杆体，位于该真空腔体的该容置空间内，其中该真空腔体用以相对于该固定杆体转动； 一粉末槽，位于该真空腔体的该容置空间内，并包括： 一盒体，用以容置粉末，并通过一连接支架连接该固定杆体，该连接支架通过一可动机构连接该盒体，该可动机构包括一凹槽； 至少一限位凸块，设置在该盒体相对的两个侧边，该限位凸块插设在该凹槽内；及 至少一凸出单元，连接该盒体，其中该真空腔体转动时，该凸出单元会在该凸起部及该凹陷部之间位移，该限位凸块可沿着该凹槽位移，使得连接该限位凸块的该盒体相对于该连接支架及或该固定杆体上下位移，该粉末槽相对于该真空腔体上下位移，并震动该盒体内的该粉末。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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