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龙图腾网获悉瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司申请的专利一种SiC外延设备自动上下料系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223240211U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422467383.5，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型一种SiC外延设备自动上下料系统是由李奕洋;罗清泉;李培军;庄清志;蔡森威;赵东旭;林淑鸿;李建喜;孙永强;冯淦;赵建辉设计研发完成，并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种SiC外延设备自动上下料系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种SiC外延设备自动上下料系统，包括传盘与传片机械臂，用于进行石墨盘、涂层环、晶片的传送；石墨盘清洗定位装置，对石墨盘进行吹扫清洁及定位；涂层环与晶片分离定位装置，将涂层环与晶片进行分离及定位；晶片上料装置，用于存放未完成工艺的晶片；晶片下料装置，用于存放已完成工艺的晶片；石墨盘清洗定位装置、晶片上料装置、晶片下料装置及晶片分离定位装置均设于传盘与传片机械臂的外侧；石墨盘清洗定位装置、涂层环与晶片分离定位装置均设置有定位器，用于识别石墨盘方向、校准涂层环与晶片定位边；石墨盘清洗定位装置包括吹气装置及抽气装置，吹气装置吹扫石墨盘的盘面，抽气装置抽取所吹扫的颗粒物。

本实用新型一种SiC外延设备自动上下料系统在权利要求书中公布了：1.一种SiC外延设备自动上下料系统，其特征在于：包括； 传盘与传片机械臂，由传盘机械臂与传片机械臂组成，所述传盘机械臂用于进行石墨盘、涂层环、晶片的传送，所述传片机械臂用于进行晶片上、下料及传送； 石墨盘清洗定位装置，对石墨盘进行吹扫清洁及定位； 涂层环与晶片分离定位装置，将涂层环与晶片进行分离及定位； 晶片上料装置，用于存放未完成工艺的晶片； 晶片下料装置，用于存放已完成工艺的晶片； 所述石墨盘清洗定位装置、晶片上料装置、晶片下料装置及晶片分离定位装置均设于所述传盘与传片机械臂的外侧； 所述石墨盘清洗定位装置、涂层环与晶片分离定位装置均设置有定位器，用于识别石墨盘方向、校准涂层环与晶片定位边； 所述石墨盘清洗定位装置包括清洁装置，所述清洁装置包括吹气装置及抽气装置，所述吹气装置用于吹扫石墨盘的盘面，所述抽气装置用于抽取所吹扫的颗粒物。

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