北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司冉光煜获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245568U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422482957.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种冷却装置是由冉光煜;刘伟;范朋伟设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷却装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种冷却装置，用于冷却工艺处理后的晶圆，包括：冷却腔室，所述冷却腔室设置有进气口和出气口；承托支架，位于所述冷却腔室内，用于承托多个晶圆，所述承托支架用于承托所述晶圆的区域从顶部至底部依次包括上部区域、中部区域以及下部区域；气体源，与所述进气口连接，用于向所述冷却腔室通入冷却气体；以及测温探针，用于监测位于所述承托支架中部区域的所述晶圆的温度。本申请提供的冷却装置可以对被冷却的晶圆的温度进行监控，避免晶圆未完全冷却造成晶圆失效。
本实用新型一种冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种冷却装置，用于冷却工艺处理后的晶圆，其特征在于，包括： 冷却腔室，所述冷却腔室设置有进气口和出气口； 承托支架，位于所述冷却腔室内，用于承托多个晶圆，所述承托支架用于承托所述晶圆的区域从顶部至底部依次包括上部区域、中部区域以及下部区域； 气体源，与所述进气口连接，用于向所述冷却腔室通入冷却气体；以及 测温探针，用于监测位于所述承托支架中部区域的所述晶圆的温度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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