瑞声声学科技(深圳)有限公司李博获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利MEMS麦克风芯片获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223246708U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422497006.6,技术领域涉及:H04R19/04;该实用新型MEMS麦克风芯片是由李博;王凯杰;赵转转;陈宇;张睿设计研发完成,并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS麦克风芯片在说明书摘要公布了:本实用新型提供的MEMS麦克风芯片,其包括具有背腔的基底、固定于所述基底且位于所述背腔上方的振膜以及沿振动方向与所述振膜间隔设置形成内腔的背板,所述振膜包括位于所述背腔上方的主体部、环绕所述主体部并固定于所述基底的支撑部以及与所述主体部部分间隔形成第一泄气缝的泄气阀,所述泄气阀包括至少一个泄气片,所述泄气片包括与所述主体部连接的固定部、与所述主体部间隔设置的活动部以及连接所述固定部和所述活动部的连接部,所述固定部的宽度小于所述活动部的宽度。本实用新型提供的MEMS麦克风芯片的可靠性高。
本实用新型MEMS麦克风芯片在权利要求书中公布了:1.一种MEMS麦克风芯片,其包括具有背腔的基底、固定于所述基底且位于所述背腔上方的振膜以及沿振动方向与所述振膜间隔设置形成内腔的背板,所述振膜包括位于所述背腔上方的主体部、环绕所述主体部并固定于所述基底的支撑部以及与所述主体部部分间隔形成第一泄气缝的泄气阀,其特征在于,所述泄气阀包括至少一个泄气片,所述泄气片包括与所述主体部连接的固定部、与所述主体部间隔设置的活动部以及连接所述固定部和所述活动部的连接部,所述固定部的宽度小于所述活动部的宽度。
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