英穆自动化科技(厦门)有限公司黄华星获国家专利权
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龙图腾网获悉英穆自动化科技(厦门)有限公司申请的专利一种晶圆搬运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422485004.5，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆搬运装置是由黄华星;吕志艺;黄海设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬运装置在说明书摘要公布了：一种晶圆搬运装置，包括吸盘机构和夹爪机构；吸盘机构包括伯努利吸盘；夹爪机构包括夹爪驱动组件和两个可调夹爪，夹爪驱动组件驱动两个可调夹爪相对靠近或者远离；两个可调夹爪分别以伯努利吸盘的中心进行横向对称分布；可调夹爪包括卡接板和旋转卡爪，卡接板与夹爪驱动组件相连，旋转卡爪可水平转动并朝内或朝外地装配于卡接板上，该旋转卡爪底部横向的一侧设有卡爪部，卡爪部上设有水平设置的环形卡槽。借此，设置伯努利吸盘可避免ABM膜被吸引变形。而通过简单的转动旋转卡爪，就可以调节横向两侧的两个卡爪部的间距，以满足大尺寸晶圆和小尺寸晶圆的生产需求，无需更换设备，操作方便，结构简单，可有效的提高生产效率。
本实用新型一种晶圆搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运装置，其特征在于： 包括吸盘机构和夹爪机构； 所述吸盘机构包括伯努利吸盘； 所述夹爪机构包括夹爪驱动组件和两个对称设置的可调夹爪，夹爪驱动组件驱动两个可调夹爪相对靠近或者远离； 两个可调夹爪分别以伯努利吸盘的中心进行横向对称分布，并位于伯努利吸盘的外周； 所述可调夹爪包括卡接板和旋转卡爪，所述卡接板与夹爪驱动组件相连，所述旋转卡爪可水平转动并朝内或朝外地装配于卡接板上，该旋转卡爪底部横向的一侧设有卡爪部，卡爪部上设有水平设置的环形卡槽。
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